潔凈室主要測試方法

A. 3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測試應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 對于單向流潔凈室,采用室截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,測點位于高效過濾器出風(fēng)面約 150mm~300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面,截面上測點間距不宜大于0.6m,測點數(shù)不應(yīng)少于 4 點,所有讀數(shù)的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2 對于非單向流潔凈室,采用風(fēng)口或風(fēng)管法確定送風(fēng)量,可按現(xiàn)行國家標準《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 5024337規(guī)定的方法執(zhí)行.

A.3.2 靜壓差測試應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 靜壓差的測定應(yīng)在潔凈室(區(qū))的風(fēng)速、風(fēng)量和檢測合格后進行,并應(yīng)在所有的門關(guān)閉時檢測。

2 儀器宜采用各種微差壓力計,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0P.

A.3.3 已安裝過濾器檢漏測試應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 檢漏方法有光度計法和粒子計數(shù)器法。

2 在過濾器上風(fēng)側(cè)應(yīng)引入測試用氣溶膠,在過濾器下風(fēng)側(cè)用光度計或粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面掃描速度移動 , 2cm~3cm 處,以 5mm/s~15mm/s 的掃描速度移動,并應(yīng)注意安裝交接處的掃描。

A.3.4 密閉性測試應(yīng)用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室 (區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室 (區(qū))。一般適用于1級至 5 級的潔凈室(區(qū))進行測試。采用光度計法和粒子計數(shù)器法進行測試。

A. 3.5 潔凈度的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 使用采樣量大于 1L/min 的光學(xué)粒子計數(shù)器,在儀器選用時應(yīng)考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率。儀器應(yīng)有有效的標定合格證書。

2 最少采樣點數(shù)應(yīng)按下式計算:

N_L= A^0.5       (A. 3. 5-1)

式中: N_L -- 最少采樣點;

        A--潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

3 采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個面積內(nèi),并位于工作活動的高度,活動高度宜距地面 0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為 1min。

4 每一采樣點的每次采樣量應(yīng)至少為2L,采樣量應(yīng)按下式

計算:

Vs =20/C_n.m  * 1000  (A. 3. 5-2)

式中:Vs--每個采樣點的每次采樣量,以L 表示;當(dāng) Vs很大時,可使用順序采樣法;

C_n.m -被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值 (pc/m');

20-在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時,可測到的粒子顆數(shù)(pc).

5 當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個采樣點時,則在該點應(yīng)至少采樣3次。

A.3.6 對超出等級范圍粒子的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝有要求時,可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規(guī)定空氣潔凈度的水平。此類粒子的最大允許濃度和檢測方法應(yīng)由客戶與建造商協(xié)商確定。

2 當(dāng)需評價小于 0.1μm 的粒子造成的污染危險時,應(yīng)采用符合這類粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應(yīng)用 U 描述符說明超微粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

U 描述符用“U(x,y)”表示,其中 x 為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3),y 為以微米計的粒徑。例如:粒徑范圍等于或大于 0.01μm 的最大允許超微粒子的濃度為 140000 個/m3,應(yīng)表示為“U(140000,0.01μm)”。

3 當(dāng)需評價大于 5μm 的粒子造成的污染危險時,應(yīng)采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和方法。可獨立應(yīng)用 M 描述符說明大于 5μm 的粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

M 描述符用“M(a,b);c”表示,其中 a 為大粒子的最大允許濃度(pc/m3),b 為與規(guī)定的大粒子測量方法相應(yīng)的當(dāng)量直徑(μm), c 為規(guī)定的測量方法。

例如:采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行檢測,測量得到 10μm~20μm 粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個/m3,則· 39 ·用 M 描述符表示為“M(1000;10μm~20μm);多級撞擊采樣器、顯微鏡測定粒徑并計數(shù)”。

A. 4 監(jiān)測

A. 4.1 按照雙方協(xié)議書的規(guī)定進行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數(shù)的監(jiān)測。

A. 4.2 雙方協(xié)議書中應(yīng)明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數(shù)、量時間間隔、被計數(shù)粒子的粒徑,以及粒子數(shù)的限值。

A. 4.3 當(dāng)監(jiān)測結(jié)果超過規(guī)定的限值時,則應(yīng)認定設(shè)施不符合要求,應(yīng)進行修正;修正后應(yīng)再進行認證檢測。當(dāng)監(jiān)測結(jié)果在規(guī)定限值內(nèi),可繼續(xù)監(jiān)測。

A.5 認證

A.5.1 按雙方協(xié)議書的規(guī)定及第 A. 2 節(jié)的要求,按第 A.3 節(jié)的方法進行測試,當(dāng)測試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)時,可認定該潔凈室符合規(guī)定要求,當(dāng)測試結(jié)果超過規(guī)定的限值,可認定該潔凈室不符合要求,應(yīng)進行改進,在完成改進工作之后,應(yīng)進行再認證。

A. 5.2 記錄數(shù)據(jù)評價應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 在空氣潔凈度測試中,當(dāng)測點在1點~10點時,應(yīng)計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導(dǎo)出95%置信上限值。

2 當(dāng)采樣點超過 10 點時,應(yīng)計算算術(shù)平均值,并按算術(shù)平均值進行空氣潔凈度等級的評價。

A. 5.3 每次性能測試或再認證測試應(yīng)做記錄,并應(yīng)提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應(yīng)包括下列內(nèi)容:

1 測試機構(gòu)的名稱、地址。

2 測試日期和測試者簽名。

3 執(zhí)行標準的編號及標準出版日期。

4 被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。

5 被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。

6 測量用的儀器編號和標定證書,測試方法細則及測試中的特殊情況。

7 測試結(jié)果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。

8 對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理。

9 注明上次的測試日期。

10 設(shè)施的測試文件可作為下次監(jiān)測計劃的依據(jù)。

A. 5.4 測試機構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。