凈化行業(yè)相關(guān)術(shù)語
1:潔凈室(clean room)
空氣懸浮粒子受控的房間,它的建造和應(yīng)用減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生和及停留的粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)及如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2:潔凈區(qū)(clean zone)
空氣懸浮粒子受控的限定區(qū)間,它的建造和應(yīng)用減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生和及停留的粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)及如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
3:移動(dòng)式潔凈小室(mobile clean booth)
可整體移動(dòng)的小型潔凈室,有剛性和柔性材料圍檔兩類。
4:人身凈化用室 (room for cleaning human body)
人員在進(jìn)入潔凈室之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
5:物料凈化用室 (room for cleaning material)
物料在進(jìn)入潔凈室之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
6:粒徑 (particle size)
給定的粒徑測(cè)定儀所顯示的,與被測(cè)粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐涡误w直徑。
7:懸浮粒子 (airborne particle)
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣懸浮粒子尺寸范圍在0.1um-5um的固體和液體粒子,但不適用于表征懸浮粒子的物理性,化學(xué)性,放射性和生命性。
8:超微粒子 (untrafine particle)
有當(dāng)量直徑小于0.1um的粒子。
9:微粒子(microparticle)
有當(dāng)量直徑大于5 um的粒子.
10 粒徑分布(particle size diseribution)
粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數(shù)。
11:含塵濃度(particle size distribution)
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
12:潔凈度(cleanliness)
以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度。
13:氣流流型(air flow pattern)
對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。
14:?jiǎn)蜗蛄鳎╱nidirectional airflow)
通過潔凈室(區(qū))整個(gè)斷面的風(fēng)速穩(wěn)定,大致平行的受控氣流。
15:垂直單向流(vertical unidirectional airflow)
與水平垂直的單向流。
16:水平單向流(horizontal unidirectional airflow)
與水平平行的單向流。
17:非單向流(non-vertical unidirectional airflow)
送入潔凈室(區(qū))的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。
18:流合流(mixed airflow)
單向流和非單向流組合的氣流。
19:潔凈工作區(qū)(clean working area)
除了工藝特殊要求外,指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8-1.5m的區(qū)域。
20:空氣吹淋室(air shower)
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著的粒子的小室。
21:氣閘室(air lock)
設(shè)置在潔凈室的出入口,阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
22:傳遞窗(pass box)
在潔凈室隔塥上設(shè)置的傳遞物流和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的窗扇。
23:潔凈工作臺(tái)(clean bench)
能夠保持操作空間所需的潔凈度的工作臺(tái)。
24:潔凈工作服(clean working garment)
為了把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度的所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
25:空態(tài)(as-built)
設(shè)施已經(jīng)建城,其服務(wù)動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)接通并運(yùn)行,膽無生產(chǎn)設(shè)備,材料及人員的狀態(tài)。
26:靜態(tài)(as-rest)
設(shè)施已經(jīng)建城,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好,并按供需雙方商定的狀態(tài)運(yùn)行,但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
27:動(dòng)態(tài) (operational)
設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場(chǎng),并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。
28:已裝過濾檢漏(installed filter systemleakage test)
為確認(rèn)過濾器安裝良好,沒有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏,過濾器及框架均無缺陷和滲漏所做的檢測(cè)。
29:純水(purity water )
對(duì)電解雜質(zhì)含量和非電解雜質(zhì)含量均有要求的水。
30:防靜電環(huán)境(antistatic environment)
能防止靜電危害的特定環(huán)境,在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電,靜電產(chǎn)生后晚于消散或消除,靜電噪聲難以傳播。
31:表面電阻(surface resistance)
在材料的表面上兩電極間所加電流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
32:體積電阻(volume resistance)
在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表而后電流。
33:專用消防口(fire-fight access)
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑的專用入口,平時(shí)封閉,使用時(shí)由消防人員從室外打開。
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