4.4 噪 聲 控 制

4.4.1 潔凈室內(nèi)的空態(tài)噪聲級(jí),非單向流潔凈至不應(yīng)大于60dB (A),單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于 65dB(A)。

4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí),空態(tài)噪聲知譜的限制值不宜大于(表 4.4.2 )中的規(guī)定。

4.4.3 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能,并宜使其各部分隔聲量相接近。

4.4.4 潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備,宜設(shè)置專用隔聲或消聲設(shè)施。

4.4.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí),應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外,潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。

.4.6 根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求,凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜符合下列規(guī)定:

1 總風(fēng)管風(fēng)速宜為 6m/s~10m/s.

2 無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為 4m/s~6m/s.

3 有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為 2m/s~5m/s.

4.5 微 振 控 制

4.5.1 有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。

2 潔凈室與周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。

3 應(yīng)測(cè)定潔凈廠房?jī)?nèi)、外各類振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響,以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。

4.5.2 精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動(dòng)值時(shí),可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50463 的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

4.5.3 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)具備下列條件:

1 周圍振源對(duì)其綜合影響的振動(dòng)數(shù)據(jù)。

2 設(shè)備、儀器儀表的型號(hào)、規(guī)格及輪廓尺寸圖。

3 設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。

4 設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖,附屬裝置,管道位置及坑、溝、孔洞尺寸,地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。

5 設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。

6 設(shè)備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。

7 所選用或設(shè)計(jì)的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。

4.5.4 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:

1:隔振臺(tái)座應(yīng)具有足夠的剛度。

2 隔振臺(tái)座應(yīng)采取傾斜校正措施。

3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于 0.15。

4 隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。

4.5.5 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對(duì)供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理。